小型水槽付チラーRKS-JMシリーズは、価格を抑えながらも電子膨張弁制御による±0.1℃の高精度温度制御を実現した汎用性が高いチラーです。コンパクトな本体にインバータ駆動高圧ポンプを標準装備。使用周囲温度範囲は~45℃、使用液温度範囲も~40℃と、高温環境とワイドレンジに対応しています。
【用途・使用例】各種工作機械、スパッタリング装置、蒸着装置、グラインダー、真空リフロー炉、マーキング装置、露光装置、ターボ分子ポンプ、ディスペンサー、電子顕微鏡(SEM・TEM)、ガスクロマトグラフ、着磁装置、EB装置、印刷機、製袋機、粉砕機、研削盤、他
【メーカー名】オリオン機械
【メーカー名】オリオン機械