圧縮空気温度調節装置/ナノサーモACUシリーズ

製品概要

圧縮空気温度調節装置/ナノサーモACUシリーズは、ペルチェ素子による電子冷熱の応答性と高精度コントローラにより±0.01℃の高精度温調を実現した圧縮空気精密温調機です。超精密加工機や精密計測器の熱歪を高精度に制御し母機の性能を最大限引き出します。ペルチェ電子冷凍は振動が極めて少ないため、微細加工機などの位置決め精度に与える影響を最小限に抑えられます。

【用途・使用例】精密加工機、精密計測機、半導体・FPD製造装置、分析機器、精密塗装機、局所空間の精密温調、加工物・計測物の温調、他
【メーカー名】オリオン機械
【カテゴリー】圧縮空気精密温調機

製品特長

圧縮空気温度を設定値±0.01℃の高精度で精密に温調
応答性に優れたペルチェ素子による電子冷却
超精密加工機・計測器の熱歪を制御し母機の性能を最大限発揮
電子冷凍動力部の振動が極めて少ないため低振動・低騒音
精密加工機の位置決め精度に与える影響を最小限に抑制
コンプレッサ搭載の冷凍方式と違いコンパクトで省スペース
一部機種で除湿機能を装備

ナノサーモ構造図

コントローラ部

設置スペース

用途例

仕様

型式		ACU100-MD	ACU300-MD	ACU600-MD	ACU1000B	ACU2000B
適用流体		圧縮空気
使用圧力範囲(ゲージ圧)	MPa	0.2～0.85	0.2～0.85	0.2～0.85	0.2～0.83	0.2～0.83
出口圧力調整範囲(ゲージ圧)	MPa	0.05～0.83	0.05～0.83	0.05～0.83	–	–
入口空気温度	℃	5～40	5～40	5～40	15～35	15～30
出口温度設定範囲	℃	16～30	16～30	16～30	15～35	15～40
出口空気流量	L/min	30～130※2	50～390※3	130～600※3	130～1000※3	330～2100
周囲温度	℃	18～25
入口空気水蒸気含有量	℃	飽和以下	飽和以下	飽和以下	圧力下10℃以下	圧力下10℃以下
出口空気露点(大気圧下)	℃	-17以下※4	-17以下※4	-17以下※4	–	–
出口空気温度制御精度※1	℃	設定値±0.01※1
出口設定温度	℃	23
入口空気温度	℃	5～40	5～40	5～40	15～28	15～28
入口空気圧力(ゲージ圧)	MPa	0.7
入口空気流量	L/min	125	375	750	1000	2100
出口空気流量	L/min	100	300	600	1000	2100
パージ空気流量	L/min	25	75	150	0	0
周囲温度	℃	25
電源	V(Hz)	単相100±10%(50/60)	単相100±10%(50/60)	単相100±10%(50/60)	単相100±10%(50/60)	単相200±10%(50/60)
最大運転電流	A	4	5	5	5	5
電源容量	kVA	0.4	0.5	0.5	0.5	1
遮断器容量	A	10
温度制御方式		ペルチェ式定電流制御(PID制御)
放熱方式		空冷式
除湿方式		中空糸膜式	中空糸膜式	中空糸膜式	–	–
出入口配管接続口径		Rc1/4	Rc3/8	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4
外装		塗装色：N5.5/N8.0
質量	kg	28	36	38	35	45
外形寸法(高×奥×幅)	mm	490×500×240	510×550×320	510×550×320	510×550×320	530×600×320

※1　出口空気流量、入口空気温度、周囲温度が安定状態で、急激な変動がない場合。(入口空気温度勾配：1℃/10min以内)
※2　出口空気圧力が0.4MPa以上の場合、最低出口空気流量は45L/min以上で使用してください。
※3　入口空気圧力が0.25MPa以下のとき、本機内圧力損失により、最大流量は次の様になります。ACU300-MD：270L/min、ACU600-MD：520L/min、ACU1000B：870L/min
※4　入口空気温度28℃時。
※5　フィルタを搭載しておりますが出口空気ろ過度を保証するものではありません。
※　空気流量は、圧縮機の吸込状態(大気圧、20℃、65%)に換算した値です。
※　詳細は仕様書をご参照願います。
注　ACU600-MDは受注生産品です。

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