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精密空調機/PAPシリーズの導入例・用途例

限られた空間を高品質に

半導体、液晶パネル、太陽電池パネルなどの生産工場に設備される生産工程および検査工程には、高精密で安定性の高い空調が求められます。この要求に対し全体空調で対応すると莫大な経費と維持費が必要となります。
オリオン機械の精密空調機は、局所的に高品質な空間を造り出し、消費電力を最小限に抑えることが可能です。

露光装置(ステッパー)

露光装置では数十nm～百数十nmという微細な電極パターンをシリコンやガラス基板上に書き込んでいますが、温湿度、クリーン度ともに非常に高レベルの空調管理を要求されます。

スピンコータ

スピンコータは半導体製造工程において成膜されたウエハにレジスト液を塗布したり、CD、DVD、BD などの光記録ディスク製造において光ディスク記録膜を塗布する装置ですが、ナノ単位で極めて均一に塗布するため温湿度の変化による粘度変化は命取りです。常に温湿度を管理し品質の安定を図ることが必要になります。

液晶ガラス基板精密温調

液晶製造工程において、ガラス基板自体の温度変化による伸縮や、静電気発生によるトラブルを回避するため、精密な環境空間での温度、もしくは温湿度管理を行っています。

クリームはんだ印刷機

プリント基板にはんだ塗布を行う装置ですが、通常はメタルマスクと呼ばれる薄さが約100～300ミクロン程度の金属板を通し、スクリーン印刷します。粉末のはんだにフラックスを加え適度な粘度を持たせていますが、温度の影響でうまく塗布できなかったり、湿度の影響で静電気が発生する場合もあり、温湿度管理が必要となります。

ソーラーシミュレーター

擬似太陽光を発生させ太陽電池の特性を評価する試験装置です。光源ランプの発熱を抑え測定条件を安定させるために温度管理が必要になります。

精密加工機

現在の超精密加工機においては、サブミクロンオーダーは当たり前で、さらにナノ単位の要求まで求められています。わずかな温度変化により装置及びワークの伸縮が発生してしまい、限りない温度制御精度の追及がされています。

プリント基板ストッカー

クリームはんだ印刷の前工程でプリント基板を一定の温湿度で管理します。プリント基板は熱特性が悪いため保管温度を管理することにより、はんだ不良の歩留まり防止となり品質向上に効果があります。

電子顕微鏡

電子顕微鏡の分解能は0.1nm 程度にもなり、その設置環境は一定の温湿度範囲を求められます。より信頼性の高い分析結果を得るために環境を整えることは必須条件といえます。

打錠機

粉末を扱いやすい形状に処理する粉末処理技術は、今やあらゆる業界において必要不可欠なものとなってきています。打錠機(錠剤機ともいいます) は、粉末を固形化するための成型機で、装置内を恒温・低湿の環境にする必要があります。

三次元測定器

三次元測定器は最小目盛が0.0005～0.00001mmと高精度であり、その測定精度を上げるためには設置周囲環境の安定が求められます。

クロマトグラフ

クロマトグラフとは、試料中の各成分の含有量を測定する機器です。測定感度はPM(100万分の1)オーダーからPPQ(1000兆分の1)レベルにまで及び、特に生化学、医薬品、食品の分野でその強みを発揮しています。高レベルへの環境改善がより信頼性の高い結果を生みます。

分注装置

分注装置は生物学、化学、医療の分野で、非常に多く使用されています。温湿度管理により、精度向上が図れます。

電子天秤

現在、分析化学での質量測定は、ほとんど電子天秤によって行なわれています。温湿度変化による微妙な変化を防止し、安定した測定結果を得ることができます。

ドラフトチャンバ

ドラフトチャンバ(ヒュームフード)内の吸気の温湿度管理に使用されます。

エンジン吸気テスト用

エンジンベンチテスト室内の上階に設置し、ダクトにて制御エアーを直接供給した例です。

自動車部品製造

自動車LEDランプ用レンズ成型後の冷却に使用された例です。

自動車部品製造

インテークマニホールドリーク試験機内の温調での使用例です。

モールディング装置

装置内樹脂の温度管理に使用される例です。

液晶ディスプレー用偏光板の製造

偏光フィルムの寸法検査等、検査工程用ブースの温調例です。

アパレル業界向け印刷機製造

印刷機(布用)への温度調整の使用例です。

食料品製造業

真空パックに封入した商品(加工肉)を保管庫に保存し状態変化の調査に使用された例です。

3Dプリンター

3Dプリンターの温調(車体部品の開発研究用途)に使用された例です。

培養試験

化粧品を取り扱う皮膚の培養試験室の温調としての使用例です。

医療品製造

カテーテル製造用コーディング装置の温調用として使用された例です。

Ｏリング・パッキン製造

Ｏリング・パッキン製品の引張試験用試験室の温調での使用例です。

超硬工具製造(エンドミル等)

高精度高速微細加工機の温調管理による歩留まり向上に使用された例です。

大規模加工室

加工工場・精密加工室・測定室の全体温調使用例です。

美術館や資料館等の収蔵庫

歴史的資料や絵画等、収蔵庫における温湿度調節として使用されています。

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