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精密温調-圧縮空気温調機器/オリオン機械

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製品とサービス

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オリオン機械


用途

ペルチェ温調方式で±0.01℃の温度制御を実現する温湿度制御装置、マイナス温度の圧縮空 気を連続供給する装置など、先端産業から理化学分野まで幅広く活躍しています。半導体ウェ ハ・フォトリソ工程、液晶製造工程、レーザー加工機冷却、ナノテク加工機器や三次元測定機 器への組み込み、樹脂ブロー成型後の急速冷却など、エアースピンドルといった各種精密加工機 器の局所温調に利用されています。

こんな分野で利用されています。

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  • 半導体産業
  • 液晶・精密機器
  • レーザー機械
  • 各種工作機械
  • 化学・薬品
  • 医療機器・分析機器
  • 理化学分野

圧縮空気温度調節器 ナノサーモ(空冷式)

ナノサーモ(圧縮空気温度調節器)
  • 圧縮空気温度を±0.01℃に制御
  • 電子冷熱の応答性と独自の高精度コントローラにより、高精度温調が可能
  • 超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御
  • コンパクト設計で省スペースを実現
  • 温度制御範囲 15.00〜40.00℃
  • 処理空気量 30〜2,100L/min
  • 精密加工機、精密計測機、半導体・FPD 製造装置、分析機器、精密塗装機、加工物・計測物の温調などに
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ード


圧縮空気温調機器・圧縮空気冷却装置 コールドフレッシュ(空冷式)

コールドフレッシュ
  • 出口空気温度範囲:0〜-30℃
  • 処理空気量:190〜2050L/min
  • 出口圧縮空気圧力・流量調整機能付
  • 主冷却・予備冷却運転切替機能付
  • 独自のエアーミキシング温度制御の省エネ型
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圧縮空気温度調節装置/RAVシリーズ(空冷式)

圧縮空気温度調節装置/RAVシリーズ(空冷式)
  • 圧縮空気を高精度に温調、±0.1℃の精度で制御
  • ヒートポンプバランス制御
  • ヒータPID制御方式比で最大70%以上の省エネ
  • 空冷式なのに低排熱、排熱を70%カット
  • インテリジェントモニタで多彩なパラメータ設定が可能
  • オートドレントラップ:フロート式内蔵
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仕様・デザイン等は予告なく変更される場合がございます。 また、性能・仕様等の表記はメーカーの基準であり、 使用条件下での性能ではございません。

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