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精密温調-液体温調機器/オリオン機械

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製品とサービス

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オリオン機械


用途

電子冷凍方式を用いた±0.05℃の高精度型、投げ込み式・循環式のコンパクト型、薬液の ダイレクト温度制御装置など、先端産業から理化学分野まで幅広く活躍しています。半導体製 造装置・液晶関連製造装置・電子顕微鏡といった研究実験装置など、各種機器の局所温調 や薬液温調などに利用されています。

こんな分野で利用されています。

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  • 半導体産業(ウェハレジスト液・エッチング液温調、製造装置温調)
  • 液晶・精密機器(液晶ガラス塗布液温調、製造装置温調)
  • 化学・薬品(薬液温調)
  • 医療機器・分析機器
  • 理化学分野

高精度水用温度調節機 プレシジョンチラー/PEC(水槽内蔵)

プレシジョンチラー/PEPシリーズ(省エネ精密チラー)
  • ヒートポンプバランス制御制御による超省エネで従来のPID制御方式と比較して最大80%の電力カットを実現
  • 負荷全域で±0.05℃の高精度温調制御
  • 完全ヒータレスで10〜60℃設定が可能(PEC400B-VW)
  • 大型装置へもダイレクト送水が可能(高揚程ポンプ搭載)
  • PC端末からの操作・状態確認が可能、多機能コントローラ搭載
  • 適用流体:水
PEC400B-VW PEC900B-VW PEC1500A-V
温度制御範囲 10.0〜60.0℃ 10.0〜45.0℃ 15.0〜30.0℃
温度制御精度※ ±0.05℃以下
冷却・加熱能力* 1.0kW 4.0kW 6.2kW
使用最低循環量 18/26L/min(揚程25m) 40L/min(揚程26/40m)
温度制御方式 ヒートポンプバランス制御
電源電圧 三相200V、50/60Hz

※現在の負荷±10%以内の状態が継続する場合。また、負荷及び冷却水温度と冷却水供給水量安定時は、制御精度±0.05℃。
*能力表示基準:恒温水温度23℃、放熱冷却水温度23℃での運転時。冷却・加熱能力は、表示能力の−5%以上。
電源電圧の相間アンバランスは±3%以内。

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小型液体用冷却機 キャリクール(投げ込み式・空冷式)

小型液体用冷却機 キャリクール/投げ込み式
  • 水槽に冷却コイルを入れるだけで冷却
  • 軽量設計で手軽に移動、設置が可能
  • 耐薬品性に優れた冷却コイルを使用(SUS304とチタンの2種類)
  • 温度コントローラ取り付け可能。定値温度制御が可能(オプション)
  • 適用流体:工業用エチレングリコール水溶液
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型式 LPB1-J LPB2 LPB2-J
温度制御範囲※1 -20〜30℃
冷却能力※2 160/190W 370/430W
冷却器材質 チタン SUS304 チタン
電源電圧 単相100V、50/60Hz

※1 制御を行なう場合はオプションの温度コントローラ(ON-OFF制御)が必要です。
※2 液温15℃、周囲温度25℃時

小型液体用冷却機 キャリクール(循環式・空冷式)

小型液体用冷却機 キャリクール/循環式
  • 常温から低温までの精密な温度制御が可能
  • 高効率の冷却方式を採用
  • 高精度な温度制御を実現
  • PID制御と見やすいデジタル表示を採用
  • 適用流体:工業用エチレングリコール水溶液
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型式 LPB3
温度制御範囲 -20〜+40℃
制御精度※1 0.1℃
冷却能力※2 500/520W
循環量 10〜16/10〜18.5 [L/min]
電源電圧 単相100V、50/60Hz

※1 液出入口短絡時、指示・設定分解能
※2 液温15℃、周囲温度25℃

水用温度調節機 リキッドプロセッサー(水槽内蔵・空冷式)

高精度水用温度調節機 リキッドプロセッサー
  • タンク内蔵型で精密な温度制御が可能
  • スリムで狭い場所にも置ける省スペースタイプ
  • PID温度調節器、水位計など小さなボディで装備を充実
  • 冷媒にR134aを採用し地球環境に配慮
  • 適用流体:清水
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型式 LCA60
温度制御範囲 +10〜+50℃
制御精度※1 ±0.5℃
冷却能力※2 175W
循環量 1.4〜6[L/min]
電源電圧 単相100V、50/60Hz

※1 液温20℃、循環水量6[L/min]、ホース内径φ12(長さ4m)、温度調節器の指示制御精度
※2 電源周波数60Hz、周囲温度20℃時

高精度水用温度調節機 ペルサーモ(水槽内蔵・空冷式)

高精度水用温度調節機 ペルサーモ(空冷式)
  • 温度制御範囲:15〜30℃、電子冷凍・PID制御
  • ±0.05℃以内の高精度温調制御を実現
  • 適用流体:清水・蒸留水
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高精度水用温度調節機 ペルサーモ(水槽内蔵・水冷式)

高精度水用温度調節機 ペルサーモ(水冷式)
  • ペルチェ温調方式と定電流制御で、最大60%の省エネ(電流値リニアPID制御)
  • 省エネスペース設計、熱交換機・水槽・圧送ポンプを本体に内蔵
  • 受注生産品
  • 設定温度範囲:10〜60℃
  • 温度制御精度:±0.03℃
  • 適用流体:清水
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型式 ETU201-VW ETU302-VW ETU702-VW
温度制御範囲 10.0〜60.0℃
温度制御精度 ±0.03(負荷安定時、結露なきこと)
冷却能力※ 200W 300W 700W
冷却方式 ペルチェ温調方式定電流制
電源電圧 単相100V、50/60Hz 単相200V、50/60Hz

※能力表示基準:恒温水温度23℃、放熱冷却水温度23℃、放熱水流量5L/min、周囲温度25℃での運転時。

水用温度調節機 ペルサーモ(水槽なし・水冷式)

水用温度調節機 ペルサーモ(水槽なし・水冷式)
  • ペルチェ温調方式を採用
  • 熱電冷却・加熱による±0.1℃の高精度な温度制御
  • 半導体、液晶、光ディスク、バイオ関連等に最適
  • 制御精度:±0.1℃
  • 温度制御範囲:10〜50℃
  • 適用流体:水
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型式 ETS101 ETS202
温度制御範囲 10.00〜50.00℃
温度制御精度 ±0.1(無負荷・安定時)
冷却能力※ 116/104W 232/220W
冷却方式 電子冷凍・PID制御
循環量(揚程) 耐水圧:0.2MPa、流量:5L/min(5.9/9.0m)
電源電圧 単相100V、50/60Hz 単相200V、50/60Hz

※設定温度20℃、冷却水温20℃、冷却水量5L/min、恒温水量5L/min。

薬液用温度調節器 ケミカルペルサーモ(水槽なし・水冷式)

電子式薬液用温度調節器 ケミカルペルサーモ
  • ウェットプロセスに欠かせない薬液をダイレクトに温調
  • 接液部オールテフロンの熱交換器採用により各種薬液に対応可能
  • 高精度な温度制御と高耐水圧の熱交換器の実現
  • ±0.1℃の制御と0.3MPaの耐水圧構造
  • 薬液のダイレクト温調でも不純物イオン濃度はきわめて微量
  • コンパクトで業界最軽量
  • 専用スイッチング電源を採用
  • 適用流体:DIW/DHF/BHF/FPM/SC1
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型式 冷熱ユニット ETN23A-N ETN45A-N ETN90A-N
電源ユニット ETD232-SA-A ETD452-SA ETD832-SA
温度制御範囲 +15〜50℃
制御精度 ±0.1℃
制御方式 電子冷凍・PID制御(センサPt100Ωはオプション)
冷却能力※ 280W 460W 920W
電源電圧 単相200〜240V、50/60Hz

※設定温度25℃、放熱水25℃、放熱水量5〜7L/min、周囲温度25℃時


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