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精密温調-圧縮空気温調機器/オリオン機械

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製品とサービス

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オリオン機械


用途

ペルチェ温調方式で±0.01℃の温度制御を実現する温湿度制御装置、マイナス温度の圧縮空 気を連続供給する装置など、先端産業から理化学分野まで幅広く活躍しています。半導体ウェ ハ・フォトリソ工程、液晶製造工程、レーザー加工機冷却、ナノテク加工機器や三次元測定機 器への組み込み、樹脂ブロー成型後の急速冷却など、エアースピンドルといった各種精密加工機 器の局所温調に利用されています。

こんな分野で利用されています。

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  • 半導体産業
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  • 化学・薬品
  • 医療機器・分析機器
  • 理化学分野

圧縮空気温度調節器 ナノサーモ(空冷式)

ナノサーモ(圧縮空気温度調節器)
  • 圧縮空気温度を±0.01℃に制御
  • 電子冷熱の応答性と独自の高精度コントローラにより、高精度温調が可能
  • 超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御
  • コンパクト設計で省スペースを実現
  • 温度制御範囲 15.00〜40.00℃
  • 処理空気量 30〜2,100L/min
  • 精密加工機、精密計測機、半導体・FPD 製造装置、分析機器、精密塗装機、加工物・計測物の温調などに
カタログダウンロ

ード


形式 ACU100-MD ACU300-MD ACU600-MD ACU1000B ACU2000B
使用圧力範囲(ゲージ圧) 0.2〜0.85MPa 0.2〜0.83MPa
出口圧力調整範囲(ゲージ圧) 0.05〜0.83MPa -
入口空気温度 5〜40℃ 15〜35℃ 15〜30℃
出口温度設定範囲 16〜30℃ 15〜35℃ 15〜40℃
出口空気温度制御精度※ 設定値±0.01℃
出口空気流量 3〜130L/min 50〜390L/min* 130〜600L/min* 130〜1000L/min* 330〜2100L/min
温度制御方式 ペルチェ式定電流制御(PID制御)
電源電圧 単相100V、50/60Hz 単相200V、50/60Hz
※出口空気流量、入口空気温度、周囲温度が安定状態で、急激な変動がない場合。(入口空気温度勾配:1℃/10min以内) *入口空気圧力が0.25MPa以下の時、本機内圧力損失により、最大流量は次の様になります。ACU300-MD:270L/min、ACU600-MD:520L/min、ACU1000B:870L/min

圧縮空気温調機器・圧縮空気冷却装置 コールドフレッシュ(空冷式)

コールドフレッシュ
  • 出口空気温度範囲:0〜-30℃
  • 処理空気量:190〜2050L/min
  • 出口圧縮空気圧力・流量調整機能付
  • 主冷却・予備冷却運転切替機能付
  • 独自のエアーミキシング温度制御の省エネ型
カタログダウンロ

ード



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